1、超声波能除去高纯水中的二氧化碳。高纯水中的二氧化碳主要以溶解的形式存在，其去除需要使用吸附剂或其他特殊的处理方法，超声波技术可以通过产生高频振动波来破坏水分子结构，使水中的溶解气体释放出来，从而降低水中气体的浓度。
2、水只要与空气接触，就会有氧气和CO2溶解进入 要想完全去除很难。但是可以尽量降低其中的含量，利用气体溶解度随温度升高而降低的原理，将纯水煮沸一段时间，然后密闭保存即可。
3、物理吸收法：早期采用加压水法，通过减压再生水。这种方法设备简单，但净化度不高，出口二氧化碳通常低于2%（体积），能耗较大。
4、对于脱碳处理，当阳离子交换处理后，水中的碳酸以二氧化碳形式释放，脱碳塔则专用于清除二氧化碳，减轻后续阴离子床的处理压力。通过优化系统设计，采用高效离子交换树脂与脱碳技术，可显著提升超纯水的品质。高阶核子级混床树脂与抛光树脂的应用对于提高超纯水的纯度至关重要。
5、气体分离膜：气体分离膜是利用特殊材料的孔道对气体进行选择性分离的技术。其中最常见的是二氧化碳分离膜，用于二氧化碳捕集和气体分离。气液膜接触：气液膜接触是一种利用气体和液体在膜表面接触传质的技术。
